دوره 22، شماره 1 - ( 4-1382 )
جلد 22 شماره 1 صفحات 174-167 |
برگشت به فهرست نسخه ها
Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
A. Sadough - Vanini. Metalization of Polymers: Copper on Cyclotene. Journal of Advanced Materials in Engineering (Esteghlal) 2003; 22 (1) :167-174
URL: http://jame.iut.ac.ir/article-1-280-fa.html
URL: http://jame.iut.ac.ir/article-1-280-fa.html
سید علی صدوق ونینی . فلزینه کاری پلیمرها: مس روی سیکلوتن. نشریه علمی پژوهشی مواد پیشرفته در مهندسی. 1382; 22 (1) :167-174
چکیده: (5416 مشاهده)
بررسی تقاضاهای تکنولوژی GSI و ULSI حاکی از نیاز ساختارهای چند لایه به کاهش زمان تأخیر انتقال علائم بین سیستمهای نیمه هادی است. این کاهش با استفاده از یک فلز هادی خوب مانند مس و یک غیر هادی کم ظرفیت تر از آنچه هم اکنون استفاده می‌شود مانند سیکلوتن ممکن است.در این مقاله نتایج حاصل از چسبندگی پوشش تبخیری و پراکنشی مس روی سیکلوتن 3022 بررسی می‌شود. پس از ارائه واکنشهای فصل مشترک فلز و پلیمر که رابطه مستقیم با چسبندگی دارد روشهای بهبود چسبندگی منجمله تغییر سطح پلیمر توسط پلاسمای نیتروژن ارائه می‌شود.
واژگان کلیدی: فلزینه کاری، سیکلوتن، چسبندگی، پلاسما، چند لایه
