در این پژوهش لایههای نازک نئودمیوم آهن بور با لایه بافر و لایه محافظ تنگستن بر زیرلایه Si/SiO2 بهروش پراکنش امواج رادیویی مگنترونی تولید شد. سیستم ایجاد شده در دماهای 450، 500، 550، 600 و 650 سانتی‌گراد در خلاء تحت عملیات بلوری شدن قرار گرفت. آنالیزفازی لایهها توسط پراش پرتو ایکس بررسی شد و وجود فاز Nd2Fe14B بدون هیچ نوع فاز ثانویه دیگری تایید شد. با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی سطح مقطع پوشش و دانهبندی لایهها بهطور دقیق مورد بررسی قرار گرفت. ریخت سطح لایهها توسط میکروسکوپ نیروی اتمی بررسی شد. خواص مغناطیسی لایه شامل نیروی پسماندزدا، مغناطش اشباع و سطح حلقه پسماند توسط مغناطومتر ارتعاشی مورد ارزیابی قرار گرفت. نتایج به‌دست آمده نشان داد که با آنیل در دمای 400 درجه سانتی‌گراد، ساختار لایه غیربلورین است. با افزایش دمای آنیل به 550 درجه سانتی‌گراد بالاترین شدت قله به‌دست میآید و با افزایش بیش‌تر شدت کاهش مییابد. با افزایش دمای آنیل اندازه دانه افزایش مییابد که بر میزان نیروی پسماندزدا موثراست. با افزایش دمای آنیل به 600 درجه سانتی‌گراد نیروی پسماندزدا عمودی افزایش مییابد و با ازدیاد بیش‌تر دمای آنیل مقدار این متغیر بهعلت افزایش بیش از حد اندازه دانهها کاهش مییابد. با توجه به خواص مغناطیسی و ساختاری لایهها میتوان نتیجه گرفت که لایه آنیل شده در دمای 600 درجه سانتی‌گراد دارای دلخواهترین خواص مغناطیسی و ساختاری است.
