سید علی صدوق ونینی،
دوره ۲۲، شماره ۱ - ( ۴-۱۳۸۲ )
چکیده
بررسی تقاضاهای تکنولوژی GSI و ULSI حاکی از نیاز ساختارهای چند لایه به کاهش زمان تأخیر انتقال علائم بین سیستمهای نیمه هادی است. این کاهش با استفاده از یک فلز هادی خوب مانند مس و یک غیر هادی کم ظرفیت تر از آنچه هم اکنون استفاده میشود مانند سیکلوتن ممکن است.در این مقاله نتایج حاصل از چسبندگی پوشش تبخیری و پراکنشی مس روی سیکلوتن ۳۰۲۲ بررسی میشود. پس از ارائه واکنشهای فصل مشترک فلز و پلیمر که رابطه مستقیم با چسبندگی دارد روشهای بهبود چسبندگی منجمله تغییر سطح پلیمر توسط پلاسمای نیتروژن ارائه میشود.
واژگان کلیدی: فلزینه کاری، سیکلوتن، چسبندگی، پلاسما، چند لایه
فاطمه جعفرزاده، سمیه مهرابیان،
دوره ۴۱، شماره ۱ - ( ۶-۱۴۰۱ )
چکیده
در این پژوهش، به بررسی جت پلاسمای سرد فشار اتمسفری هلیوم پرداخته میشود. جت از نوع تخلیه سد دیالکتریک بوده و متشکل از یک تیوپ دیالکتریک با دو الکترود حلقوی فلزی است. برای شبیهسازی از معادلات پیوستگی، تکانه و پایستگی انرژی به همراه معادله پواسون جهت محاسبه پتانسیل و میدان الکتریکی و معادلات حاکم بر گاز کامل استفاده میشود. نتایج نشان میدهد که چگالی الکترونی و یونی، پتانسیل و میدان بارفضا، انرژی درونی، دما و سرعت الکترونها با زمان روندی افزایشی دارند. نیز افزایش طول پلاسما و حرکت رو به جلوی آن در امتداد محور جت، با زمان قابل مشاهده است. بنابراین انتظار میرود تا با افزایش زمان، مقادیر کمیتهای مذکور افزایش یافته و طول شعله جت پلاسما بیشتر شود