دوره 31، شماره 1 - ( تیر 1391 )
جلد 31 شماره 1 صفحات 56-51 |
برگشت به فهرست نسخه ها
Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
A. Bahari, M. Roodbari Shahmiri, N. Mirnia. Comparison of Nano Structural Properties of Al2O3 and TiO2 Films. Journal of Advanced Materials in Engineering (Esteghlal) 2012; 31 (1) :51-56
URL: http://jame.iut.ac.ir/article-1-536-fa.html
URL: http://jame.iut.ac.ir/article-1-536-fa.html
علی بهاری ، ماندانا رودباری شهمیری ، نورالدین - میرنیا . مقایسه ویژگی نانو ساختاری اکسید آلومینیوم و اکسید تیتانیوم. نشریه علمی پژوهشی مواد پیشرفته در مهندسی. 1391; 31 (1) :51-56
گروه فیزیک ، دانشکده علوم پایه، دانشگاه مازندران، بابلسر ، a.bahari@umz.ac.ir
چکیده: (5726 مشاهده)
در سال های اخیر، موادی با ثابت دی الکتریک بالا نظیر اکسید آلومینیوم و اکسید تیتانیوم به جای گیت اکسید سیلیکون فرانازک مورد مطالعه قرار گرفته اند. در کار حاضر چنین اکسیدهایی در دماهای مختلف و تحت شرایط فراخلا بر روی زیرلایه ی Si(100) رشد یافته اند. نتایج بدست آمده نشان می دهند که اکسید آلومینیوم از ساختار مناسب تری نسبت به ساختار اکسید تیتانیوم برخوردار است و می تواند به عنوان یک گیت دی الکتریک مناسب در تولیدات آتی نانو ترانزیستورهای میسفت بکار رود.
ارسال پیام به نویسنده مسئول
